5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究

人工晶体学报 ›› 2006, Vol. 35 ›› Issue (6): 1388-1391.

5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究

康平;张振志;周志强;韦勇;张寒贫;杜小红;陈建;张庆海;成肇安

国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部,徐州,221006

发布日期:2021-01-20
基金资助:
江苏省技术开发专题项目资金(BE2002518)

Study on φ5 inch LiTaO3 Crystals Growth Process

KANG Ping;ZHANG Zhen-zhi;ZHOU Zhi-qiang;WEI Yong;ZHANG Han-pin;DU Xiao-hong;CHEN Jian;ZHANG Qing-hai;CHENG Zhao-an

Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长φ5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计.这些技术的集成,是φ5英寸晶体生长成功的必要保证.

中图分类号:

康平;张振志;周志强;韦勇;张寒贫;杜小红;陈建;张庆海;成肇安. 5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(6): 1388-1391.

KANG Ping;ZHANG Zhen-zhi;ZHOU Zhi-qiang;WEI Yong;ZHANG Han-pin;DU Xiao-hong;CHEN Jian;ZHANG Qing-hai;CHENG Zhao-an. Study on φ5 inch LiTaO3 Crystals Growth Process[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(6): 1388-1391.

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