晶格匹配氮化镓和氧化锌基外延薄膜衬底材料ScAlMgO4晶体生长研究

人工晶体学报 ›› 2007, Vol. 36 ›› Issue (3): 612-616.

晶格匹配氮化镓和氧化锌基外延薄膜衬底材料ScAlMgO4晶体生长研究

唐慧丽;董永军;徐军;赵志伟;吴锋;邹军;周国清

中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

出版日期:2007-06-15 发布日期:2021-01-20

Study on the Growth of Lattice-matched ScAlMgO4 Substrates for GaN and ZnO-based Film Epitaxy

TANG Hui-li;DONG Yong-jun;XU Jun;ZHAO Zhi-wei;WU Feng;ZOU Jun;ZHOU Guo-qing

Online:2007-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用提拉法成功生长了氮化镓和氧化锌基外延薄膜晶格匹配的ScAlMgO4单晶衬底材料,晶体呈透明白色,尺寸为30mm×59mm,表面部分沿解理面有裂纹.粉末X射线衍射(XRD)分析表明经1400℃固相反应烧结的原料基本合成了ScAlMgO4多晶相.初步的偏光显微镜观察、晶体的粉末XRD表征、透过光谱和双晶摇摆测试表明晶体具有较好的光学性质和结晶质量.研究表明晶体本身的层状结构、较大的温度梯度和热应力的不均匀性是生长过程中引起晶体开裂的几个主要原因.

中图分类号:

O782

唐慧丽;董永军;徐军;赵志伟;吴锋;邹军;周国清. 晶格匹配氮化镓和氧化锌基外延薄膜衬底材料ScAlMgO4晶体生长研究[J]. 人工晶体学报, 2007, 36(3): 612-616.

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