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人工晶体学报 ›› 2008, Vol. 37 ›› Issue (1): 102-103.

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半导体硅熔体电导率的间接测量

徐岳生;刘彩池;王海云;张雯;石义情   

  1. 河北工业大学信息功能材料研究所,天津,300130
  • 出版日期:2008-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(50372016);教育部科学技术基金(205017)

Indirect Measurement of Conductivity of Silicon Melt

XU Yue-sheng;LIU Cai-chi;WANG Hai-yun;ZHANG Wen;SHI Yi-qing   

  • Online:2008-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文通过在磁场下测定硅熔体的粘度,根据ηeff=(μBb)2σ关系式,间接计算出硅熔体的电导率.其结果与用其他方法测试的数值吻合.用电子导电、离子导电的变化,解释了硅熔体在1420~1690℃范围电导率的变化,研究结果对指导大直径硅单晶生长具有实际意义.

关键词: 环境相;磁粘度;熔硅电导率

中图分类号: