人造金刚石加热系统分析及其精密交流调功器设计

人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (3): 612-619.

人造金刚石加热系统分析及其精密交流调功器设计

莫金海;韦寿祺;何少佳;王红;邹云屏

华中科技大学电气与电子工程学院,武汉,430074;桂林电子科技大学机电工程学院,桂林,541004;桂林电子科技大学机电工程学院,桂林,541004;华中科技大学电气与电子工程学院,武汉,430074

出版日期:2009-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
广西青年科学基金(0007011);广西教育厅立项项目(200808LX127)

Heating System Analysis and Precise AC Power Regulator Design of Synthetic Diamond

MO Jin-hai;WEI Shou-qi;HE Shao-jia;WANG Hong;ZOU Yun-ping

Online:2009-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 建立了加热系统的数学模型,深入分析各类交流加热的特性及差别,指出恒功率加热方式温控效果最佳且与直流加热无明显区别.建立恒功率交流加热系统SABER仿真模型并深入分析系统构成特性,设计一个基于适当功率滤波和输出偏置的模拟PID控制器.仿真和实验结果表明,所设计交流调功器具有成本低、实时性强、适应性好、控制性能佳、温控精度高等特点,能较好地满足金刚石合成工艺的要求.

中图分类号:

TQ164

莫金海;韦寿祺;何少佳;王红;邹云屏. 人造金刚石加热系统分析及其精密交流调功器设计[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(3): 612-619.

MO Jin-hai;WEI Shou-qi;HE Shao-jia;WANG Hong;ZOU Yun-ping. Heating System Analysis and Precise AC Power Regulator Design of Synthetic Diamond[J]. JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS, 2009, 38(3): 612-619.

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