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人工晶体学报 ›› 2009, Vol. 38 ›› Issue (3): 761-766.

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用于晶体生长的氮化铝保温材料的研究

武红磊;郑瑞生;孟姝   

  1. 深圳大学光电子学研究所,深圳,518060
  • 出版日期:2009-06-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家自然科学基金(60376003;60576005);深圳市科技计划费用项目(200517);深圳市非共识创新项目

Research on AlN Thermal Insulation Materials for Crystals Growth

WU Hong-lei;ZHENG Rui-sheng;MENG Shu   

  • Online:2009-06-15 Published:2021-01-20

摘要: 在不添加任何添加剂的情况下,采用氮化铝粉体作高温气相法生长氮化铝晶体的保温材料.实验结果表明:氮化铝保温材料具有耐高温、对钨坩埚材料没有损伤、使用寿命长、不易在晶体中引入杂质等优点,是一种优良的高温保温材料.与目前常用的石墨保温材料相比较,氮化铝存在热导率相对较高、在高温过程中会少量升华污染炉腔等缺点,在使用中要采取一定的对策,以消除其不利影响.

关键词: 氮化铝;石墨;晶体;保温

中图分类号: