面向微机械应用的CVD金刚石微齿轮的制备

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (6): 1399-1403.

面向微机械应用的CVD金刚石微齿轮的制备

王红军;左敦稳;徐锋;卢文壮;王珉

南京航空航天大学机电学院,南京210016;南京工业职业技术学院,南京210046;南京航空航天大学机电学院,南京,210016

出版日期:2011-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51005117;51075211);江苏省自然科学基金(BK2008382)

Fabrication of CVD Diamond Microgear for Micro-machine Application

WANG Hong-jun;ZUO Dun-wen;XU Feng;LU Wen-zhuang;WANG Min

Online:2011-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备单晶硅微齿轮陈列模具,采用热丝法化学气相沉积(HFCVD)制备出结构精细的金刚石微齿轮,其齿顶圆直径约1.55 mm、齿轮厚度10μm.应用扫描电镜分别观察了ICP刻蚀的硅微齿轮模具及CVD金刚石微齿轮,表明齿轮微结构形貌精细,金刚石微齿轮较好地复制了硅微细结构；Raman光谱分析表明微齿轮的金刚石质量较高.此工艺可以实现金刚石薄膜的精细图形化,为面向微机械应用的金刚石器件的经济批量制备提供了一种途径.

中图分类号:

O436

王红军;左敦稳;徐锋;卢文壮;王珉. 面向微机械应用的CVD金刚石微齿轮的制备[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(6): 1399-1403.

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