Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响

人工晶体学报 ›› 2011, Vol. 40 ›› Issue (6): 1552-1556.

Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响

刘卓佳;刘保亭;彭增伟;代秀红;闫会芳;付跃举;赵庆勋

河北大学物理科学与技术学院,保定,071002

出版日期:2011-12-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(60876055;11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)

Effect of Lead Excess on Polarization Switching Properties of Si-based Ferroelectric Capacitor with Ti-Al Barrier Layer

LIU Zhuo-jia;LIU Bao-ting;PENG Zeng-wei;DAI Xiu-hong;YAN Hui-fang;FU Yue-ju;ZHAO Qing-xun

Online:2011-12-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 以射频磁控溅射法生长的La0.5Sr0.5CoO3( LSCO)为电极,采用溶胶-凝胶法在以Ti-Al为导电阻挡层的Si基片上生长了用不同Pb过量前驱体溶液(溶胶)制备的LSCO/Pb( Zro4Ti0.6)O3(PZT)/LSCO电容器,以此构造了Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si异质结.Pb过量对LSCO/PZT/LSCO电容器极化翻转性能的影响表明:不同Pb过量溶胶对电容器的极化翻转性能影响很大,其中Pb过量15;的溶胶制备的样品在550℃常规退火1h后相对具有较好的翻转性能.在5V的外加电场下,LSCO/PZT/LSCO电容器的矫顽电压和剩余极化强度分别为1.25V和24.6μC/cm2.疲劳和电阻率测试分析表明:在经过109翻转后,不同样品的抗疲劳性能均很好,而电阻率随前驱体溶液Pb过量的增加呈现下降的趋势.

中图分类号:

O646.1

刘卓佳;刘保亭;彭增伟;代秀红;闫会芳;付跃举;赵庆勋. Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(6): 1552-1556.

LIU Zhuo-jia;LIU Bao-ting;PENG Zeng-wei;DAI Xiu-hong;YAN Hui-fang;FU Yue-ju;ZHAO Qing-xun. Effect of Lead Excess on Polarization Switching Properties of Si-based Ferroelectric Capacitor with Ti-Al Barrier Layer[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2011, 40(6): 1552-1556.

[1]	姜澄溢;刘浩楠;张富宝;季福云;徐胜;万勇. 光子晶体在太阳能电池中的应用[J]. 人工晶体学报, 2018, 47(2): 292-296.
[2]	万勇;赵修松;蔡仲雨;李洪亮;夏临华. 利用水平沉积法制作PS微球二元胶体薄膜及其它复杂结构[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(5): 1295-1298.
[3]	陈剑辉;刘保亭;魏大勇;王宽冒;崔永亮;王英龙;赵庆勋;韦梦袆. 含Ni-Al阻挡层硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构及物理性能[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 33-37.
[4]	万勇;蔡仲雨;赵修松;李洪亮;夏临华. PS微球胶体晶体及其反相SiO2结构的制备和表征[J]. 人工晶体学报, 2011, 40(1): 150-154.