基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究

人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (4): 582-586.

基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究

袁征;戴一帆;解旭辉;周林;关朝亮;冯殊瑞

国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073

出版日期:2013-04-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(91023042)

Cleaning of Iron Powders Embedded into the Surface of KDP Crystal by Ion Beam Figuring

YUAN Zheng;DAI Yi-fan;XIE Xu-hu;ZHOU Lin;GUAN Chao-liang;FENG Shu-rui

Online:2013-04-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面.本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉.利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化；结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工；利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉.

中图分类号:

TH161

袁征;戴一帆;解旭辉;周林;关朝亮;冯殊瑞. 基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(4): 582-586.

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