不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (10): 2743-2746.

不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响

权祥;焦富强;邓敏;徐冬梅;彭景云;朱常任

徐州工业职业技术学院,徐州,221000;江苏协鑫硅材料科技发展有限公司,徐州,221000

出版日期:2014-10-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
徐州工业职业技术学院项目(XGY201307)

Effects of Different Seed Crystal on the Crystal Growth of Polycrystalline Silicon

QUAN Xiang;JIAO Fu-qiang;DENG Min;XU Dong-mei;PENG Jing-yun;ZHU Chang-ren

Online:2014-10-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好.采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3;.

中图分类号:

TQ174.75

权祥;焦富强;邓敏;徐冬梅;彭景云;朱常任. 不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(10): 2743-2746.

QUAN Xiang;JIAO Fu-qiang;DENG Min;XU Dong-mei;PENG Jing-yun;ZHU Chang-ren. Effects of Different Seed Crystal on the Crystal Growth of Polycrystalline Silicon[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(10): 2743-2746.

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