化学气相沉积制备铜锌合金微米杆

人工晶体学报 ›› 2014, Vol. 43 ›› Issue (6): 1376-1380.

化学气相沉积制备铜锌合金微米杆

靳英坤;李焕勇

西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室,西安,710072

出版日期:2014-06-15 发布日期:2021-01-20
基金资助:
国家自然科学基金(51072164);航空科学基金(2013ZF53076)

Preparation of Cu-Zn Alloy Micron Rods by Chemical Vapor Deposition

JIN Ying-kun;LI Huan-yong

Online:2014-06-15 Published:2021-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用化学气相沉积的方法,以锌粉、硝酸铜为原料,在硅衬底上制备了铜锌合金微米杆.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积产物的结构、形貌和成分进行了测试与表征.结果表明,生长的铜锌合金微米杆为金属间化合物Cu3Zn合金,为立方相结构,直径在0.1 ～5 μm之间,长度可达3～30μm.锌在铜锌合金微米杆的生长中起着至关重要的作用.铜锌合金微米杆的生长属于气固反应诱导下的气液固(VLS)生长机制,与经典的气液固(VLS)生长机制具有明显不同的特点.

中图分类号:

靳英坤;李焕勇. 化学气相沉积制备铜锌合金微米杆[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(6): 1376-1380.

JIN Ying-kun;LI Huan-yong. Preparation of Cu-Zn Alloy Micron Rods by Chemical Vapor Deposition[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(6): 1376-1380.

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