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人工晶体学报 ›› 2016, Vol. 45 ›› Issue (8): 2152-2155.

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退火温度对Zn0.93Fe0.07O薄膜微结构和铁磁性能的影响

更藏多杰;马书懿;陈万军;张国恒;陈彦   

  1. 西北民族大学电气工程学院,电子材料国家民委重点实验室,兰州730030;西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃省原子分子与功能材料重点实验室,兰州730070
  • 出版日期:2016-08-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    中央高校基金(31920150011)

Effects of Annealing Temperature on Microstructure and Ferromagnetism of Zn0.93Fe0.07O Thin Films

GENGZANG Duo-jie;MA Shu-yi;CHEN Wan-jun;ZHANG Guo-heng;CHEN Yan   

  • Online:2016-08-15 Published:2021-01-20

摘要: 用射频磁控溅射方法在硅片上制备了Zn0.93Fe0.07O薄膜,并在空气中用不同温度进行热处理,利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对其微结构、表面和断面形貌进行测试.结果表明,薄膜沿c轴方向择优生长,呈六角纤锌矿结构,空气中450℃退火的样品XRD谱中出现最强的(002)衍射峰,晶粒尺寸变大,薄膜结晶和取向明显变好.用振动样品强磁计对样品铁磁特性进行测试,发现当退火温度的升高时,饱和磁化强度有所增加,并经分析认为这可能是薄膜中晶粒间的晶界缺陷引起的.

关键词: 兹控溅射;Zn0.93Fe0.07O薄膜;退火温度;铁磁性

中图分类号: