退火效应对MOCVD生长的ZnO薄膜的影响

朱宝富;黄柏标;秦晓燕;李先林;姚书山;尉吉勇;张琦

摘要： 我们利用MOCVD设备在α-Al2O3衬底上生长了c轴取向的ZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)对ZnO薄膜进行表征,研究了退火对ZnO薄膜光电特性影响.通过退火优化, ZnO薄膜的结晶性得到提高,晶粒尺寸变大,紫外光发射峰的强度相对变强.

中图分类号:

朱宝富;黄柏标;秦晓燕;李先林;姚书山;尉吉勇;张琦. 退火效应对MOCVD生长的ZnO薄膜的影响[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(5): 755-757.

[1]	李宪林;黄柏标;朱宝富;于永芹;尉吉勇;秦晓燕. 以乙醇为氧源生长ZnO薄膜中温度对光谱影响的研究[J]. 人工晶体学报, 2004, 33(2): 201-204.
[2]	梁红伟;吕有明;申德振;颜建锋;刘益春;李炳辉;赵东旭;张吉英;范希武. 等离子体增强分子束外延生长ZnO薄膜及光电特性的研究[J]. 人工晶体学报, 2003, 32(6): 579-584.
[3]	严宇超, 王琤, 陆昌程, 刘莹莹, 夏宁, 金竹, 张辉, 杨德仁. 2英寸Fe掺杂高阻β相氧化镓单晶生长及（010）衬底性质研究[J]. 人工晶体学报, 0, (): 1-.
[4]	姚苏昊, 张茂林, 季学强, 杨莉莉, 李山, 郭宇锋, 唐为华. 基于mist CVD的高纯相α-Ga₂O₃生长与光电响应特性研究[J]. 人工晶体学报, 0, (): 1-.
[5]	黄东阳, 黄浩天, 潘明艳, 徐子骞, 贾宁, 齐红基. 垂直布里奇曼法生长氧化镓单晶及其性能表征[J]. 人工晶体学报, 0, (): 1-.

PDF (PC)