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人工晶体学报 ›› 2013, Vol. 42 ›› Issue (12): 2515-2519.

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同步辐射白光形貌术定量计算晶体的残余应力

宋生;崔潆心;杨昆;徐现刚;胡小波;黄万霞;袁清习   

  1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039
  • 出版日期:2013-12-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    国家高技术研究发展计划(863计划)(2011AA050401);国家自然科学基金(51021062,11134006)

Quantitative Calculation of the Residual Stress in Crystal Based on Synchrotron Radiation White Beam Topography

SONG Sheng;CUI Ying-xin;YANG Kun;XU Xian-gang;HU Xiao-bo;HUANG Wan-xia;YUAN Qing-xi   

  • Online:2013-12-15 Published:2021-01-20

摘要: 提出了一种利用同步辐射白光形貌术定量计算晶体残余应力的方法.晶体的残余应力与晶格畸变之间存在定量关系,衍射斑点的畸变程度可以反映晶格的畸变量,据此可以计算晶体中的残余应力.文中以碳化硅单晶样品残余应力的定量计算作为实例,展示了实验方法和计算过程.结果表明该样品的残余应力以正应力为主.

关键词: 同步辐射;白光形貌术;残余应力;碳化硅

中图分类号: