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人工晶体学报 ›› 1998, Vol. 27 ›› Issue (2): 132-136.

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CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

潘永东;钱梦騄;侯立;刘尔凯   

  1. 同济大学声学研究所,上海200092;人工晶体研究所,北京100018
  • 出版日期:1998-02-15 发布日期:2021-01-20
  • 基金资助:
    中国科学院资助项目

Laser Ultrasonic Study on Acoustic Character of CVD Diamond

Pan Yongdong;Qian Menglu;Hou Li;Liu Erkai   

  • Online:1998-02-15 Published:2021-01-20

摘要: 本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.

关键词: 金刚石膜;压电薄膜;激光超声;化学气相沉积

中图分类号: